 |
| Modello | Serie 800 | 1000 Sei | Serie 1200 | ||||
| Parametri delle prestazioni di temperatura | |||||||
| Intervallo di temperatura del dissipatore di calore | ℃ | -70~150 | |||||
| Intervallo di temperatura della piastra di base | ℃ | -70~150 | |||||
| Tasso di variazione della temperatura media del dissipatore di calore | ℃/min | ≥2 | |||||
| Tasso di variazione della temperatura media della piastra di base | ℃/min | ≥2 | |||||
| Uniformità della temperatura del dissipatore di calore | ℃ | ±2 | ±3 | ||||
| Uniformità della temperatura della piastra di base | ℃ | ±2 | ±3 | ||||
| Parametri delle prestazioni di pressione | |||||||
| Ultima pressione | papà | ≤5×10-5 | |||||
| Pressione lavorativa | papà | ≤1,3×10-3 | |||||
| Tempo di pompaggio della pompa principale | h | 5 | |||||
| Simula carichi | kg | 10 | 15 | 20 | |||
| Pompa Principale | Pompa a bassa temperatura | ||||||
| Pompa dell'olio | Pompa magnetica alta e bassa temperatura | ||||||
| Pompa di supporto | Pompa rotativa a palette + pompa roots | ||||||
| Metodo di refrigerazione | Refrigerazione meccanica a cascata (refrigerazione assistita da azoto liquido) | ||||||
| Modello | Serie 800 | 1000 Sei | Serie 1200 | ||||
| Parametri delle prestazioni di temperatura | |||||||
| Intervallo di temperatura del dissipatore di calore | ℃ | -70~150 | |||||
| Intervallo di temperatura della piastra di base | ℃ | -70~150 | |||||
| Tasso di variazione della temperatura media del dissipatore di calore | ℃/min | ≥2 | |||||
| Tasso di variazione della temperatura media della piastra di base | ℃/min | ≥2 | |||||
| Uniformità della temperatura del dissipatore di calore | ℃ | ±2 | ±3 | ||||
| Uniformità della temperatura della piastra di base | ℃ | ±2 | ±3 | ||||
| Parametri delle prestazioni di pressione | |||||||
| Ultima pressione | papà | ≤5×10-5 | |||||
| Pressione lavorativa | papà | ≤1,3×10-3 | |||||
| Tempo di pompaggio della pompa principale | h | 5 | |||||
| Simula carichi | kg | 10 | 15 | 20 | |||
| Pompa Principale | Pompa a bassa temperatura | ||||||
| Pompa dell'olio | Pompa magnetica alta e bassa temperatura | ||||||
| Pompa di supporto | Pompa rotativa a palette + pompa roots | ||||||
| Metodo di refrigerazione | Refrigerazione meccanica a cascata (refrigerazione assistita da azoto liquido) | ||||||
